μsurf 移動3D共聚焦顯微鏡光學測量系統(tǒng)是針對大型物體檢測(如軋輥和車身)而研發(fā)的。本系統(tǒng)以穩(wěn)定的的μsurf共聚焦技術為基礎,因此它適用于嚴苛的生產環(huán)境。全套設備只有5.5kg,因此可以放在移動式運輸箱里并使用任何汽車進行搬運。到達現場后,這套系統(tǒng)只需要幾分鐘的準備時間就能投入使用。
μsurf 移動3D共聚焦顯微鏡的粗糙度測量結果遵循DIN,EN,ISO等標準,可以分析三維形貌和測量微觀尺寸并自動得出形狀結構和體積參數,測量結果會被轉移到一個可自由定義的分析軟件中進行進一步處理。在軋輥性能檢測中,它表面的紋理和缺陷能夠被精確的檢測和評估。這項技術已經在許多企業(yè)里得到成功的應用,這些企業(yè)涵蓋汽車行業(yè)、印刷和造紙行業(yè)、醫(yī)療技術行業(yè)、微電子技術行業(yè);同樣,我們的技術同樣應用在眾多研究機構。
硬件 圖像采集模塊 | 采用*掃描技術的高速數字相機掃描,高達55幀/秒, 512x512像素,10位,火線接口 |
光源 | 高性能LED燈(λ=505nm),平均*時間:50000h |
X、Y軸模塊MN50 | 精密定位模塊,X、Y軸測量范圍:50x50mm2 |
Z軸模塊MN35 | 精密掃描模塊,行程:35mm |
Z軸模塊NV250 | 高速超高精度掃描模塊(壓電模塊),行程:250μm, 分辨率<10nm |
外圍裝置及控制器 | 臺式機/筆記本/桌上型臺式機,Windows XP專業(yè)版,4GB RAM,火線接口,DVD光驅,以太網絡,3D導航器,集 成的移動便攜式運輸箱 |
底座 | 為了檢測軋輥表面形貌,設計了特殊的底座,用于測量直 徑>200mm的軋輥 |