Edwards愛德華XDS干式渦旋泵具有創(chuàng)新的軸承罩，可將真空環(huán)境與所有形式的潤滑劑隔離開來，創(chuàng)造了一個*靜態(tài)密封和*無油清潔的真空環(huán)境。針對稀有氣體再循環(huán)和氣體回收等應(yīng)用，Edwards XDS35iNGB 選配型移除了氣鎮(zhèn)。
C 型是改進(jìn)型，更適用于水蒸氣以及某些具有腐蝕性物質(zhì)的應(yīng)用。這個耐化學(xué)腐蝕的版本是基于Chemraz內(nèi)閥以及不銹鋼材料的出氣口。
XDS46i 與 XDS35i 有許多共同特性，但前者的峰值抽速達(dá)到 40m3h-1。該泵針對zui大抽速 (入口壓力介于 1 mbar 至10 mbar 之間) 進(jìn)行了優(yōu)化，使其完美適用于渦輪分子泵的前級泵。
XDS35i增強(qiáng)版（XDS35iE）具有雙入口和旁通閥技術(shù)，使其能夠處理標(biāo)準(zhǔn)XDS35i泵工作范圍以外的應(yīng)用，例如防止在較高操作壓力和較大吞吐量時氣體在渦旋裝置中的過度壓縮。XDS35iE能夠在不受真空室大小或循環(huán)抽氣頻率限制的情況下工作。這給我們的客戶提供了更多從XDS渦旋干泵技術(shù)中受益的機(jī)會。
Edwards愛德華XDS干式渦旋泵產(chǎn)品特點：
* 軸承罩：可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。
* 變頻器驅(qū)動：范圍內(nèi)泵性能*相同、泵過載保護(hù)和遠(yuǎn)程啟動/停止功能特性。
* 高流量氣鎮(zhèn)特性：可實現(xiàn)以zui高 240 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。
* *的軸向氣隙電機(jī)：減小了整體泵尺寸，并且降低了功率和噪聲。
* 簡單的單端雙渦旋設(shè)計：可實現(xiàn)在幾分鐘內(nèi)完成維護(hù)工作，從而降低運行成本并盡可能延長正常運行時間。
