高性能，大流量250 slm質(zhì)量流量控制器
P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器，能夠在100至250 slm的氮?dú)鉂M量程流量范圍內(nèi)運(yùn)行，并具有的控制閥設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速的設(shè)定點(diǎn)響應(yīng)，同時(shí)保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立時(shí)間（不到2秒）和1％的設(shè)定點(diǎn)精度，勝過(guò)其他典型的高流量MFC。
· 流速?gòu)?00到250 slm
· 設(shè)定值精度為1％的多氣體/多量程
· 模擬量I / O：0至5 VDC，4至20 mA
· 數(shù)字量I / O：DeviceNet，RS485，Profibus
技術(shù)指標(biāo)
滿量程流量范圍 | 100至250 slm（相當(dāng)于N2） | 溫度顯示 | 0至85°C |
入口壓力 | 150磅/平方英寸 | 溫度精度 | ±2°攝氏度 |
正常工作壓力差 | 25至45 psid（在MFC出口處為大氣壓） | 溫度分辨率 | 0.1°攝氏度 |
耐壓 | 1000磅/平方英寸 | 顯示 | 數(shù)值為4位數(shù)字，單位為4個(gè)字符 |
爆破壓力 | 1500磅/平方英寸 | 配件類型 | 世偉洛克®8VCR® |
控制范圍 | 滿量程的2％至100％ | 外部泄漏完整性 | <1 x 10 -10（scc / sec He） |
典型精度 | 滿量程的20％至100％時(shí)為設(shè)定值的±1％ | 封閉閥的泄漏完整性 | 在40 psia至vac（<500 mTorr）時(shí)，小于已配置滿量程的1.0％ |
重復(fù)性 | 讀數(shù)的±0.3％ | 濕材料 | 316L SS VAR，316 SS，Elgiloy，430FR，Buna-N，鎳，聚酰亞胺 |
解析度 | 讀數(shù)的0.1％ | 表面處理 | 平均Ra 10 µinch |
零溫度系數(shù) | <滿量程的0.05％/°C | 重量 | 3磅（1.4公斤） |
跨度溫度系數(shù) | <讀數(shù)的0.08％/°C | 合規(guī) | 符合89/336 / EEC的CE |
進(jìn)氣壓力系數(shù) | <讀數(shù)的0.02％/ psi | 所需的DeviceNet輸入功率 | 每個(gè)DeviceNet™規(guī)格為+11至+25 VDC（@ <9瓦） |
典型建立時(shí)間 | 50 psi以下時(shí)，通常在10％滿刻度以上<3秒（典型值） | DeviceNet連接器 | 5針微連接器 |
熱身時(shí)間 | 30分鐘 | DeviceNet數(shù)據(jù)速率開(kāi)關(guān)選擇 | 4個(gè)位置：125、250、500K（默認(rèn)），GM（可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)編程） |
工作溫度 | 10°至50°C | DeviceNet網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 | 多達(dá)64個(gè)節(jié)點(diǎn) |
儲(chǔ)存濕度 | 0至95％相對(duì)濕度，無(wú)凝結(jié) | DeviceNet網(wǎng)絡(luò)拓?fù)?/strong> | 同一網(wǎng)絡(luò)電纜上的線性（中繼線/吊線）電源和信號(hào) |
貯存溫度 | -20°至80°C |
特征
簡(jiǎn)短的流程步驟性能
P250A的快速建立時(shí)間（少于2秒）和一（1）％的設(shè)定點(diǎn)精度的性能超過(guò)了其他典型的高流量MFC?？刂颇芰山档椭猎O(shè)備配置的滿量程的2％。這些功能與設(shè)備的多氣體/多量程功能相結(jié)合，擴(kuò)展了用戶的能力，可將MOCVD，硅外延，RTP和擴(kuò)散/氧化應(yīng)用所需的高流量MFC庫(kù)存降至。
多氣體/多量程功能
通過(guò)設(shè)備的嵌入式軟件和標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)接口，無(wú)需使用特殊軟件或硬件即可運(yùn)行，只需一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)Web瀏覽器和一臺(tái)PC，即可輕松實(shí)現(xiàn)多氣體/多量程功能的使用。對(duì)于使用中的典型高流量氣體，已經(jīng)在設(shè)備上存儲(chǔ)了重要的氣體參數(shù)。只需選擇氣體并滿量程流量范圍即可配置設(shè)備。該界面還允許用戶執(zhí)行設(shè)備診斷，繪制流程并存儲(chǔ)數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。
P系列質(zhì)量流量控制器概述
P系列高性能MFC具有全數(shù)字控制架構(gòu)，可在可操作設(shè)備范圍內(nèi)快速響應(yīng)設(shè)定值。嵌入式Web瀏覽器應(yīng)用程序允許更改氣體類型和滿量程流量，從而通過(guò)最小化必須保留在庫(kù)存中的MFC的數(shù)量和種類來(lái)降低總體成本。
