產(chǎn)品介紹
35年來，我們一直在為光學涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開發(fā)現(xiàn)場監(jiān)測和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺系統(tǒng)，專門設計用于在負載鎖定真空蝕刻和沉積室內(nèi)觀察圖案化晶圓，以檢查是否已加載正確的晶圓，并確認相對于掩模圖案的對齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場，但通常在5mm的工作距離（適用于ICP蝕刻和沉積室）和600mm視場下可以獲得7μm的分辨率。
性能特點
- 5 M 像素高分辨率相機圖像
- 共線晶圓照明
- 成像距離從100mm到1000mm
- 可見特征尺寸低至 5um
- 手動和電動對焦選項
技術參數(shù)
- 產(chǎn)地：英國
- 攝像頭：
- 傳感器類型：CMOS
- 傳感器尺寸：5像素，2560 x 1920像素
- 像素大小：2.2um
- 電源要求：
- 接口：GigE
- 電源：12至24 Vdc
- 功耗：3.5W
- 是否進口：是
- 封裝：廠家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
產(chǎn)品參數(shù)
