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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司
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晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)鉑悅儀器(上海)有限公司 廣州辦事處
  • 品       牌
  • 型       號(hào)FSM 413 EC
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時(shí)間2025/5/12 12:39:14
  • 訪問(wèn)次數(shù)32
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鉑悅儀器自2004年成立以來(lái),憑借與世界各大儀器的戰(zhàn)略合作關(guān)系,以及不斷優(yōu)化公司自身經(jīng)營(yíng)管理,提高服務(wù)質(zhì)量,成為中國(guó)國(guó)內(nèi)的儀器供應(yīng)商。鉑悅儀器所提供的產(chǎn)品均屬于高科技行業(yè),產(chǎn)品包括高精度的分析儀器、檢測(cè)儀器和生產(chǎn)設(shè)備,以及配套的耗材和配件,這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、工業(yè)、太陽(yáng)能、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、生物、能源、電子、石化等各個(gè)領(lǐng)域并服務(wù)于各大院校、研究所、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、及政府部門(mén)等。

鉑悅儀器不僅擁有高品質(zhì)的產(chǎn)品,更培養(yǎng)了專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售、技術(shù)和售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),本著客戶(hù)*的原則,從客戶(hù)的實(shí)際需求出發(fā),鉑悅儀器為每一位客戶(hù)量身訂制Z適合的綜合解決方案,并提供持續(xù)而良好的售后服務(wù),由此也獲得了廣大客戶(hù)的信任與認(rèn)可。

鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海,并在北京、廣州、成都、香港、加拿大設(shè)立了辦事處,在能及時(shí)引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)的同時(shí),保證了鉑悅儀器能快速、有效的為全國(guó)各地的客戶(hù)提供良好的服務(wù)。


企業(yè)文化: CREDIT

C- Confidence: 自信

R- Responsibility: 責(zé)任心

E- Efficiency: 效率

D-Diligence: 勤奮

I- Intelligence: 機(jī)智

T- Trust: 信任


AFM探針及配件,X射線熒光測(cè)厚儀,防潮箱,壓片機(jī),熔樣機(jī),標(biāo)樣,層析板,SPIP三維圖像處理軟件,電鏡制樣設(shè)備及耗材,Vision顯微鏡,研磨拋光機(jī),氣體分析儀
產(chǎn)品描述:FSM413回波探頭傳感器使用紅外(IR)干涉測(cè)量技術(shù)。
晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

非接觸式厚度測(cè)量,可以測(cè)量背面研磨減薄和刻蝕后的薄晶圓,也可測(cè)量粘附在藍(lán)膜或者其他載體上的有圖形或凸起的晶圓,可應(yīng)用于堆疊芯片和微機(jī)電系統(tǒng)。

 

優(yōu)勢(shì):
       FSM413回波探頭傳感器使用紅外(IR)干涉測(cè)量技術(shù),可以直接和測(cè)量從厚到薄的晶圓襯底厚度變化和總體厚度變化。配置單探頭系統(tǒng),可以測(cè)量一些對(duì)紅外線透明的材料,例如Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英和一些聚合物,還可以測(cè)量常規(guī)有圖形、有膠帶、凸起或者鍵合在載體上晶圓的襯底厚度。配置雙探頭系統(tǒng)時(shí),還提供晶圓整體厚度測(cè)量(包括襯底厚度和在光不能穿透的情況下的圖形高度厚度)。選配功能可以測(cè)量溝槽深度和通孔深度(包括微機(jī)電中的高深寬比的溝槽和通孔)。另外微機(jī)電應(yīng)用中薄膜厚度測(cè)量和凸塊高度測(cè)量也可以選配。

 

基于FSM Echoprobe紅外線干涉測(cè)量技術(shù),提供非接觸式芯片厚度和深度測(cè)量方法。

Echoprobe技術(shù)利用紅外光束探測(cè)晶圓。 
Echoprobe可用于測(cè)量多晶硅、藍(lán)寶石、其它復(fù)合物半導(dǎo)體,例如GaAs, InP, GaP, GaN    等。 
對(duì)晶圓圖形襯底切割面進(jìn)行直接測(cè)量。

 

行業(yè)應(yīng)用:

主要應(yīng)用在研磨芯片厚度控制、芯片后段封裝、TSV(硅通孔技術(shù))、(MEMS)微機(jī)電系統(tǒng)、 側(cè)壁角度測(cè)量等。
針對(duì)LED行業(yè), 可用作檢測(cè)藍(lán)寶石或碳化硅片厚度及TTV 

其它應(yīng)用:
·  溝槽深度測(cè)量
·  表面粗糙度測(cè)量
·  薄膜厚度測(cè)量
·  環(huán)氧厚度測(cè)量

Echoprobe™ 回波探頭技術(shù)可提供對(duì)薄晶圓(<100um)的襯底厚度或粘結(jié)結(jié)構(gòu)上的薄襯底進(jìn)行直接和測(cè)量。

關(guān)鍵詞:芯片 傳感器
15700106413
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