美國EXTORR公司四極質譜殘余氣體分析儀（RGA）
特點及應用：
•操作簡單
•可靠，方便
•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強
•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質量
•對真空系統(tǒng)檢漏
在工藝中的效果
•改善質量
•提高流片量
•減少停機時間
•改進工藝
•縮小工藝周期
•降低成本
規(guī)格：
| 測量氣體范圍 XT100（M） XT200（M） XT300（M） | 1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu |
| 檢測類型 | 法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM） |
| 靈敏度（A/mbar） | 5×10-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高 |
| 分辨率 | 1 amu ，10%峰高 |
| zui小可檢分壓強 | 10-11 torr或10-14 torr（電子倍增器），氮28，10%峰高 |
| 工作范圍 | 10-4 torr到超高真空 |
| 工作環(huán)境zui高溫度 | 40°C |
| 烘烤溫度 | 300°C（不包括CCU） |
| 通訊端口 | RS-232C，115,200 Baud |
| 軟件運行環(huán)境 | Windows® 2000或XP |
