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電子廠潔凈室的除塵率要求
電子廠潔凈室的除塵率要求主要取決于其潔凈度等級(jí)(如百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等)，而不同等級(jí)對(duì)空氣中顆粒物的容許濃度有嚴(yán)格規(guī)定。以下是關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)及要求：
1. 潔凈度等級(jí)與顆粒物限制
- 百級(jí)潔凈室：每立方米空氣中≥0.5μm的粒子數(shù)≤3,500個(gè)，≥5μm的粒子數(shù)≤293個(gè)。
- 千級(jí)潔凈室：≥0.5μm的粒子數(shù)≤35,200個(gè)/m³，≥5μm的粒子數(shù)≤2,930個(gè)/m³。
- 萬級(jí)潔凈室：≥0.5μm的粒子數(shù)≤352,000個(gè)/m³，≥5μm的粒子數(shù)≤2,930個(gè)/m³。
- 十萬級(jí)潔凈室：≥0.5μm的粒子數(shù)≤3,500,000個(gè)/m³，≥5μm的粒子數(shù)≤20,000個(gè)/m³。
2. 除塵率要求
- 高效過濾器(HEPA/ULPA)：
潔凈室通常要求末端過濾器對(duì)≥0.3μm顆粒的過濾效率≥99.97%(HEPA)或≥99.999%(ULPA)，具體選擇取決于潔凈度等級(jí)。
- 整體系統(tǒng)效率：
通過初效、中效、高效三級(jí)過濾組合，綜合除塵率需確保達(dá)到對(duì)應(yīng)潔凈度等級(jí)的顆粒物限值。例如，十萬級(jí)潔凈室的送風(fēng)系統(tǒng)需將初始空氣中的顆粒物濃度降低至標(biāo)準(zhǔn)值的1/10,000以下。
3. 其他影響因素
- 氣流組織：?jiǎn)蜗蛄?層流)潔凈室的除塵效率高于非單向流(亂流)，需通過合理的氣流設(shè)計(jì)減少死角。
- 正壓控制：潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的壓差需≥10Pa，防止外部污染物進(jìn)入。
- 靜電控制：電子廠潔凈室需維持濕度40%-60%，以減少靜電吸附顆粒。
4. 實(shí)際應(yīng)用建議
- 對(duì)于高精密電子制造(如半導(dǎo)體)，通常要求千級(jí)或更高潔凈度，除塵率需接近100%。
- 動(dòng)態(tài)環(huán)境下(如人員操作時(shí))，需通過增加換氣次數(shù)(如十萬級(jí)換氣15-20次/小時(shí))維持除塵效果。
總結(jié)
電子廠潔凈室的除塵率并非固定百分比，而是通過過濾系統(tǒng)、氣流設(shè)計(jì)和環(huán)境控制共同實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)潔凈度等級(jí)的顆粒物限值。具體需根據(jù)生產(chǎn)工藝要求(如集成電路制程需百級(jí)，普通封裝可接受萬級(jí))選擇匹配的凈化方案。
