在半導(dǎo)體材料和器件的研究和生產(chǎn)中經(jīng)常要使用各種具劇毒高毒及易燃,易爆特性的氣體,其中最典型的即為砷烷和磷烷……這兩種氣體常用作Ⅲ一 v族半導(dǎo)體外延材料的生長(zhǎng)源,在氣相外延(vPE),金屬有機(jī)物氣相外延(MOVPE)I氣態(tài)源分子束外延(GSMBE)及化學(xué)隸外延(CBE)等中提到廣泛應(yīng)用,在其它一些平導(dǎo)體工藝如離子注人，擴(kuò)散.多品及非品硅沉積等中也常用作摻雜劑。

由于這兩種氣體均為劇毒,燃?xì)怏w,磷烷遇空氣還能自燃,因此在實(shí)際工作中無(wú)論是從影響人體健康的環(huán)保因素考慮，還是從保證安定的角度考慮，都必須對(duì)工作空間中這些氣體的環(huán)境濃度進(jìn)行有效的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，并具備可靠的泄漏安全報(bào)警裝置砷烷和磷烷的環(huán)境允許濃度甚低,分別僅為 5oppb~3o0ppb,在幾個(gè)ppm的濃度下即會(huì)產(chǎn)生急性中毒癥狀,

巡檢機(jī)器人"基于OCR和圖像識(shí)別能力，能模擬專業(yè)的人工操作，在全站多級(jí)頁(yè)面與資金交易全流程的各個(gè)場(chǎng)景進(jìn)行點(diǎn)擊、識(shí)別、檢查等巡檢操作，搭配深國(guó)安在線磷烷砷烷二合一氣體檢測(cè)儀，能有效的提高巡檢的速度跟人員的安全保障，

二合一900圖.jpg

在線磷烷砷烷二合一氣體檢測(cè)儀特點(diǎn)：

1，用深國(guó)安典型的家族式盾形外觀設(shè)計(jì)，配備工業(yè)級(jí)鋁合金防護(hù)外殼，堅(jiān)固耐用；

2，2.4英寸超大屏幕，顯示目標(biāo)氣體、濃度、單位、指示燈工作狀態(tài)等各項(xiàng)參數(shù)；

3，中英文、繁體，操作界面，適合所有人群；強(qiáng)大聲光報(bào)警功能，三級(jí)報(bào)警點(diǎn)自由設(shè)置，當(dāng)氣體濃度超標(biāo)時(shí)，自動(dòng) 發(fā)出85dB以上的報(bào)警聲響。

4，同時(shí)支持一鍵消音；

5，強(qiáng)大的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，客戶可通過(guò)有線或無(wú)線連接，將數(shù)據(jù)打印或?qū)С?；?guó)外進(jìn)口芯片，精度高、穩(wěn)定性強(qiáng)、誤差率低；

6，多種信號(hào)傳輸，兼容90%以上廠家的氣體報(bào)警控制器、PLC、DCS、DDC等上位機(jī)系統(tǒng)；全量程溫濕度補(bǔ)償，32位納米級(jí)微處理器+24位超高ADC采集芯片，確保產(chǎn)品在運(yùn)行過(guò)程的數(shù)據(jù)穩(wěn)定；

在線磷烷砷烷二合一氣體檢測(cè)儀深國(guó)安采用32位處理芯片，可以精準(zhǔn)識(shí)到可媲美分析儀級(jí)別的ppb濃度，深國(guó)安選用國(guó)外進(jìn)口氣體傳感器，地保障了產(chǎn)品安全性和穩(wěn)定性，全量程溫濕度補(bǔ)償和深國(guó)安數(shù)據(jù)修正功能，確保不同環(huán)境下使用。

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在線磷烷砷烷二合一氣體檢測(cè)儀在半導(dǎo)體巡檢機(jī)器人的應(yīng)用

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