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【儀器網(wǎng) 維修保養(yǎng)】激光干涉儀是以干涉測量法為試驗方法，利用激光作為長度基準(zhǔn)，對數(shù)控設(shè)備的位置精度、定位精度、重復(fù)定位精度以及幾何精度等進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。　　主要特點：　　1、同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角。　　2、設(shè)計用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器。　　3、可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米?！　?、可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機(jī)床動態(tài)特性?！　?、全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機(jī)床時不需三角架?！　?、集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間。　　7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動角等以及測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機(jī)床動態(tài)特性等?！　?、激光干涉儀的光源——激光，具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點?！　?、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用?！　【S修保養(yǎng)：　　1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動，儀器搬動時應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形?！　?、光學(xué)零件不用時應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，擦拭時須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙mi混合液輕拭?！　?、傳動部件應(yīng)有良好的潤滑，特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用精密儀表油潤滑?！　?、使用時各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。　　5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后仍保持不失油狀態(tài)。　　6、經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲都涂有紅漆，不應(yīng)擅自轉(zhuǎn)動。 激光干涉儀分類及應(yīng)用

　　激光干涉儀以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。

　　激光干涉儀的分類：　　單頻激光干涉儀　　從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機(jī)按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。　　雙頻激光干涉儀　　在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當(dāng)可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號表示移動方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計數(shù)器計數(shù)后，由電子計算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算（乘1/2激光波長）后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量?！　〖す飧缮鎯x應(yīng)用：　　（1）幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等?！　。?）位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機(jī)床達(dá)到精度，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補償方法的知識?！　。?）數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量，其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果。　?。?）雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補償?！　。?）數(shù)控機(jī)床動態(tài)性能檢測利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。