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上海添時科學(xué)儀器有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號OTF-1200X-Ⅲ-R5-PECVD
品 牌
廠商性質(zhì)0
所 在 地
聯(lián)系方式：徐鰲查看聯(lián)系方式
更新時間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：225次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積三溫區(qū)回轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)（R-PECVD），等離子增強(qiáng)系統(tǒng)的引入可在相對較低的溫度下實現(xiàn)粉末表面的包覆復(fù)合、核殼結(jié)構(gòu)制備等工藝過程。自動進(jìn)出料系統(tǒng)可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集，包含射頻電源（帶自動匹配功能）、四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)及真空泵系統(tǒng)，可由PLC觸摸屏或PC電腦控制，使用方便快捷。
產(chǎn)品特點：
•爐體在0- 25°內(nèi)傾斜，有利于粉末樣品的裝卸；
•齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性；
•四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控；
•配備自動進(jìn)出料系統(tǒng)可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集。
加熱爐參數(shù)：
三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐
•溫度：1200℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1100℃；
•三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃;
•輸入功率：208-240 V，單相，功率：4KW；
•高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗；
•回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：2-10 rpm；
•爐體開啟式設(shè)計以達(dá)到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
射頻電源：
真空系統(tǒng)：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達(dá)10-2Torr。
供氣系統(tǒng)（可選）：
•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
•氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出；
• PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
產(chǎn)品尺寸和重量：
•設(shè)備尺寸： 2800mm L'800mm W'1700mm H
•供氣系統(tǒng)：600mm L'700mm W'700mm H
•凈重：180 kg
承諾：
一年保質(zhì)期，終身維護(hù)，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
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