單晶硅在生產(chǎn)過程中對用水要求十分嚴(yán)格，如果水質(zhì)不合格會直接影響單晶硅的品質(zhì)，導(dǎo)致單晶硅性能下降，如果把這種次品應(yīng)用到其他產(chǎn)品中，也會影響到其他產(chǎn)品的性能，所以單晶硅超純水設(shè)備成為了單晶硅生產(chǎn)過程中*的裝置之一。單晶硅超純水設(shè)備采用的主要工藝如下：

　　原水箱→原水提升泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級高壓泵→一級反滲透→級間水箱→二級高壓泵→中間水箱→EDI提升泵→微孔過濾器→EDI系統(tǒng)→EDI水箱→拋光混床→用水點

　　單晶硅超純水設(shè)備被廣泛應(yīng)用于太陽能電池、單晶硅/多晶硅硅片硅材料清洗、LED、LCD、光電光學(xué)行業(yè)領(lǐng)域中。單晶硅超純水設(shè)備設(shè)計采用成熟、可靠、先進、自動化程度高的兩級RO+EDI+拋光混床處理工藝，確保處理后的超純水水質(zhì)能夠*符合單晶硅生產(chǎn)用水標(biāo)準(zhǔn)，使得生產(chǎn)效率更高、運行更加穩(wěn)定、經(jīng)濟效益理想。