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日本ULVAC CFB-650Z脂潤滑分子泵 一、產(chǎn)品簡介
CFB-Z系列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內(nèi)*的變截面葉齒，軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承，以更高的可靠性實現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環(huán)境，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。
日本ULVAC CFB-650Z脂潤滑分子泵 二、產(chǎn)品特點
日本ULVAC CFB-650Z脂潤滑分子泵 三、主要性能指標(biāo)
型號 | CFB-650Z | ||
進(jìn)氣口法蘭 | — | LF160 | CF150 |
排氣口法蘭 | — | KF40 | |
抽氣速率 | L/s | 650 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
極限壓強(qiáng) | Pa | 3×10-6 | 2×10-7 |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | rpm | 24000 | |
振動值 | μm | ≤0.1 | |
啟動時間 | min | ＜5 | |
使用軸承 | — | 脂潤滑陶瓷軸承 | |
前極泵 | L/s | 4-8 | |
冷卻方式 | — | 水冷 | |
冷卻水溫度 | ℃ | ≤25 | |
環(huán)境溫度 | ℃ | <40 | |
冷卻水流量 | L/min | 1 | |
安裝方向 | — | 任意角度 | |
重量 | kg | ～26 | |
四、特性曲線及安裝尺寸
CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線
CFB系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線
CFB-650Z安裝尺寸
型號規(guī)格 | CFB-650Z | |
高真空法蘭 | LF160 | CF150 |
D1 | Ф180 | Ф202 |
D2 | Ф236 | Ф236 |
D3 | 212 | 212 |
L1 | 112 | 112 |
H1 | 308 | 308 |
H2 | 248.5 | 248.5 |
H3 | 92 | 92 |
H4 | 224.5 | 224.5 |
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