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日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性
• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
• 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
• 低振動(dòng)低噪音。
• 維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。
日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、應(yīng)用
• 分析設(shè)備
• 氣體回收系統(tǒng)
• 涂料設(shè)備• TMP 前級(jí)泵
• 氦滲漏探測(cè)器
• 半導(dǎo)體制造工藝
日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)
| 單位 | 50Hz | 60Hz |
實(shí)際抽速 | L/min | 90 | 108 |
極限壓力 | Pa | 5.0 | |
馬達(dá) |
| 單相, 100/115/200/230V, | |
滿載電流 | A | 2.6/1.3/1.6 | 2.1/2.2/1.1/1.1 |
重量 | kg | 14.0 | |
進(jìn)出氣管道直徑 |
| 進(jìn)氣管 KF-25 出氣管 KF-16 | |
環(huán)境溫度 | °C | 5 – 40 | |
水蒸氣處理 | g/天 | ≤5 (A.F. 開啟) | |
尺寸 | mm | 214(W) × 308(L) × 225(H) | |
四、外形圖
五、泵數(shù)曲線
六、對(duì)應(yīng)電壓與認(rèn)證
電壓 | 現(xiàn)行電壓 | CE 認(rèn)證 | CSA 認(rèn)證 |
單相, | 標(biāo)準(zhǔn) |
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