sanyu-electron各種濺射方法及相關(guān)運(yùn)用分析
濺射原理
它是一種將薄膜附著到物質(zhì)上的方法，與電鍍不同，它是在真空中進(jìn)行的，不使用化學(xué)品。 （在半導(dǎo)體制造中，濕法工藝稱(chēng)為干法工藝。）
將待涂覆的樣品和薄膜的原材料（目標(biāo)）放在附近。
整體處于真空狀態(tài)，樣品與靶材之間施加電壓。
電子和離子高速運(yùn)動(dòng)，離子與目標(biāo)碰撞。高速運(yùn)動(dòng)的電子和離子與氣體分子碰撞，撞擊分子的電子并變成離子。
與目標(biāo)碰撞的離子會(huì)排斥目標(biāo)粒子。 (濺射現(xiàn)象)
被排斥的原料顆粒碰撞并粘附在樣品上，形成薄膜。
各種濺射方法
介紹的原理是DC濺射，但已經(jīng)設(shè)計(jì)出各種方法來(lái)彌補(bǔ)其缺點(diǎn)。以下濺射方法是典型的。
直流濺射 – 在兩個(gè)電極之間施加直流電壓的方法
射頻濺射 – 施加交流電的方法（高頻）
磁控濺射 – 一種通過(guò)在靶側(cè)使用磁鐵產(chǎn)生磁場(chǎng)來(lái)從樣品中分離等離子體的方法。
離子束濺射——一種在遠(yuǎn)離目標(biāo)或樣品的位置產(chǎn)生離子并加速并施加到目標(biāo)的方法。
其他方法包括面向目標(biāo)、ECR（電子回旋加速器）和半導(dǎo)體制造中使用的準(zhǔn)直以及長(zhǎng)距離方法。此外，通過(guò)改變靶的形狀和磁體的布置，磁控管方法已經(jīng)開(kāi)發(fā)出各種方法。
直流濺射
這是第一個(gè)設(shè)計(jì)的濺射方法。盡管DC濺射具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等許多優(yōu)點(diǎn)，但它具有以下問(wèn)題。
需要產(chǎn)生輝光放電，而且器件內(nèi)部真空度比較低，因此存在殘余氣體的影響。具體地，膜與氣體反應(yīng)，或者氣體被捕獲在膜內(nèi)。
氣體在等離子體狀態(tài)下分離成離子和電子，樣品也暴露在高溫等離子體中。由于溫度上升等原因可能會(huì)造成損壞。
如果原材料（靶材）是絕緣體，離子就會(huì)積聚在表面，放電就會(huì)停止。
射頻濺射
一種向絕緣目標(biāo)施加交流電（高頻）的方法。
將目標(biāo)和樣品靠近放置。
將高頻電壓施加到真空室和靶材上。
由于它是交流電，因此粒子加速的方向根據(jù)電壓而變化。
由于電子比離子更輕且更容易移動(dòng)，因此到達(dá)導(dǎo)電室的電子流入電路。
靶側(cè)的電子無(wú)處逃逸，變得更加密集。
結(jié)果，靶材側(cè)產(chǎn)生負(fù)偏壓，離子被吸引到靶材上并可以濺射。
磁控濺射
這是一種減少直流濺射中等離子體影響的方法。由于等離子體被限制在目標(biāo)附近，因此濺射速度也更快。
將背面帶有磁鐵的目標(biāo)放置在靠近樣品的位置。
通過(guò)施加電壓來(lái)進(jìn)行濺射。
磁場(chǎng)使電子沿著磁場(chǎng)線(xiàn)螺旋移動(dòng)。
等離子體在電子周?chē)a(chǎn)生，可以集中濺射。
特征
即使在高頻下也可使用 / 樣品附近不會(huì)產(chǎn)生等離子體，不會(huì)造成損壞 / 飛濺量大
缺點(diǎn)
目標(biāo)數(shù)量減少的方式存在不均勻性。
離子束濺射
在列出的四種方法中，這是不使用放電的方法。
從離子槍?zhuān)▽?duì)離子發(fā)生器產(chǎn)生的離子進(jìn)行加速并釋放的裝置）釋放的離子照射到目標(biāo)上并飛濺。 DC濺射受到等離子體中的離子和電子等各種粒子的影響，但它是一種僅使用您想要用于濺射的離子的方法。向離子槍供應(yīng)惰性氣體以連續(xù)產(chǎn)生離子。 （將原材料本身電離并直接用樣品轟擊它稱(chēng)為離子鍍。）
特征
由于不需要通過(guò)放電產(chǎn)生等離子體，因此即使在高真空（無(wú)雜質(zhì)混入）下也可以/離子源是獨(dú)立的，因此易于設(shè)定條件/不依賴(lài)于目標(biāo)的導(dǎo)電率
缺點(diǎn)
設(shè)備復(fù)雜、昂貴/成膜速度不快
濺射設(shè)備配置
根據(jù)方法的不同，它們也有所不同，但除了離子束濺射之外，它們幾乎是相同的。
真空室（氣體入口、樣品出口[快速鍍膜機(jī)采用前門(mén)，方便操作]）
排氣裝置（旋轉(zhuǎn)泵：放電時(shí)不需要高真空）
樣品臺(tái)（在三宇電子，經(jīng)常取出和放入的樣品臺(tái)位于底部。）
目標(biāo)安裝支架
電源（高頻、高壓電源等）
控制裝置
快速涂布機(jī)SC系列結(jié)合了上述要素，只需連接主體和泵即可使用。
濺射的使用方法
隨著射頻濺射等技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在不僅可以形成金屬，還可以形成多種材料的薄膜，并且現(xiàn)在得到了廣泛的應(yīng)用。
磁盤(pán)（垂直磁記錄介質(zhì)的產(chǎn)生）
CD/DVD（記錄面金屬膜）
半導(dǎo)體（電路生成、存儲(chǔ)器[鐵電薄膜]、各種傳感器）
磁頭（用于高密度記錄硬盤(pán)；最新磁頭采用多層薄膜）
噴墨打印機(jī)頭
液晶顯示裝置（透明電極的生成）
有機(jī)EL顯示裝置（透明電極的產(chǎn)生）
高亮度LED
電子顯微鏡樣品的制備（導(dǎo)電膜抗靜電）
光催化薄膜
分析（識(shí)別表面上濺射而不是成膜的材料。）
納米機(jī)器（形狀記憶合金薄膜）
在塑料、玻璃等上生成電磁屏蔽膜。
用于生產(chǎn)導(dǎo)電薄膜的緊湊型濺射設(shè)備
臺(tái)式快速鍍膜機(jī) SC 系列
您可以使用這款緊湊且易于使用的設(shè)備輕松創(chuàng)建各種金屬的薄膜。
SEM/TEM等的前處理請(qǐng)點(diǎn)擊此處。
SC-701MkⅡ高級(jí)
一種高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)，可處理 Ni、Cr、W、Ti 和 Al 等多種金屬。
SC-701MkⅡ
該系列中最小的貴金屬濺射鍍膜機(jī)，可讓您輕松創(chuàng)建薄電極膜。
SC-701AT
只需設(shè)置樣品并等待即可。全自動(dòng)濺射，膜厚可調(diào)。
SC-701MC
采用對(duì)樣品溫和的磁控管陰極。全自動(dòng)機(jī)型，可控制膜厚。
SC-701HMCⅡ
磁控管型適合生產(chǎn)W/Ti/Cr等薄膜。微電腦控制/自動(dòng)快門(mén)標(biāo)準(zhǔn)配備。
SC-708系列
非常適合大型基板上的薄膜生產(chǎn)和 PDMS 表面處理
