產(chǎn)品介紹

多功能SIMS工具：高分析效率和全自動化的基準檢測靈敏度

IMS 7f-Auto是我們獲得成功的IMS xf二次離子質(zhì)譜儀（SIMS）產(chǎn)品系列的新型號。該儀器旨在提高高精度元素和同位素分析的易用性和生產(chǎn)率，已針對玻璃、金屬、陶瓷、硅基，III-V和II-VI族化合物器件、散裝物料、薄膜等一系列頗具挑戰(zhàn)性的應(yīng)用進行改良，可充分滿足行業(yè)對高效器件開發(fā)和過程控制的要求。

用于解決多種分析問題的關(guān)鍵分析功能
IMS 7f-Auto提供了具有高深度分辨率和高動態(tài)范圍的深度剖析功能。高透射質(zhì)譜儀與兩種反應(yīng)性高密度離子源（O2+和Cs⁺）相結(jié)合，從而提供高濺射速率和極低的檢出限。*的光學(xué)設(shè)計可實現(xiàn)直接離子顯微鏡和掃描探針成像。 

提高自動化和作業(yè)效率
IMS 7f-Auto配有重新設(shè)計的同軸一次離子槍筒，可以更輕松、更快速地進行一次離子束調(diào)諧，并優(yōu)化一次離子束流穩(wěn)定性。新的自動化程序減少了由操作員引起的偏差并提高了易用性。帶有自動裝載/卸載樣品架的電動儲存室通過分析鏈和遠程操作提高分析效率。 

在高分析效率下實現(xiàn)高再現(xiàn)性
借助新型電動儲存室和樣品轉(zhuǎn)移，IMS 7f-Auto能夠分析鏈式或遠程模式下的多個樣品。測量可以*無人值守和自動化，具有高通量和可再現(xiàn)性。可實現(xiàn)很高的可再現(xiàn)性（RSD<0.5％）、很低的檢出限、高測試效率和高生產(chǎn)率（工具可每天24小時使用，幾乎無需操作員干預(yù)）。

注：對于科研類產(chǎn)品，請先查證核實企業(yè)經(jīng)營資質(zhì)和科研產(chǎn)品注冊證情況。