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上海淞涵精密設備科技有限公司


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D07-19B型氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2023-04-07 18:25:15瀏覽次數(shù)：195次

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產(chǎn)品簡介

D07-19B型質(zhì)量流量控制器★高精度，快響應型★橡膠密封、模擬電路的MFC★采用DB15型電插頭，國際標準機械接頭★國際兼容用途:質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制

詳細介紹

D07-19B型質(zhì)量流量控制器 ★高精度，快響應型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭，國際標準機械接頭 ★國際兼容用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

詳細參數(shù)

標準:

氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態(tài)規(guī)定為：

標準溫度………………0℃（273.15K）

標準壓強………………101325Pa


輸入和輸出:

輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA

輸入設定電壓…………0～+5.00V

輸出電壓檢測…………0～+5.00V

產(chǎn)品技術(shù)指標

滿量程流量范圍（N2) 5SCCM～30SLM
控制范圍 2～100％F.S.
閥類型（閥初始狀態(tài)） 電磁調(diào)節(jié)閥（常閉）
準確度 ≤10SLM ±1％F.S.
＞10SLM ±2％F.S.
線性 ≤10SLM ±0.5～1％F.S.
＞10SLM ±2％F.S.
重復精度 ±0.2％F.S.
響應時間 ≤4sec
工作溫度范圍 5～45℃
工作壓差 ≤10SLM 0.1～0.5MPa
＞10SLM 0.1～0.3MPa
耐壓 3MPa
漏氣率 1×10-9SCCSHe
密封材料 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠
接頭選擇 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
電插頭形式 DB15 pin(Male)
抗電磁干擾 CE
重量 2.6kg

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