產(chǎn)品詳情型號(hào)：GSL-1700X-HVC產(chǎn)品概述：GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，其工作溫度可達(dá)1600℃，極限真空度可達(dá)to10^-5torr

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

型號(hào)：GSL-1700X-HVC

產(chǎn)品概述：GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，其工作溫度可達(dá)1600℃，極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

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GSL-1700X 系列管式爐

殼體	· 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 · 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 · 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上，方便移動(dòng). 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機(jī)組
爐管	· 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 · 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上 · （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L
功率	6KW
工作電壓	AC 208-240V單相, 50/60Hz
加熱元件	8 根1800°C grade MoSi2 heating element
工作溫度	· 工作溫度.: 1650°C（<2h）（更新時(shí)間：19.12.10--JS2）連續(xù)工作溫度.: 1600°C
升溫速率	≤5°C/min
加熱區(qū)長(zhǎng)度	加熱區(qū)長(zhǎng)度: 457 mm (18")
溫控系統(tǒng)	· 采用PID方式自動(dòng)控制，并可設(shè)置30段升降溫程序 · 控溫精度: ±1°C · 控溫儀表操作視頻熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
真空法蘭	· 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝 · 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表 · 兩個(gè)精密針閥 · 一個(gè)KF-25連接器和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口一個(gè)1/4"卡套接頭
外形尺寸	550 x 380 x 520mm

高真空機(jī)組

功率	100~110W
工作電壓	AC 208-240V單相, 50/60Hz
外形尺寸	600(L) x 600(W) x 700(H), mm
殼體	· 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm · 承載量: 600 Lbs on top · 分子泵控制面板: LCD 數(shù)字顯示內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:
控制面板	· 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動(dòng)啟動(dòng)） · 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率
抽氣速率	· N2 33 L/s · He 39 L/s (2340L/minute) H2 32 L/s
工作范圍	1000 mbar to <1E-7 mbar
極限	<1E-8 mbar (without any leaking )

質(zhì)量流量控制器

殼體

· 采用 316不銹鋼制作

· 混氣箱尺寸: Φ80x120mm

· 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據(jù)客戶要求定制

功率

18W

工作電壓

AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

· CE認(rèn)

· 所有電器元件（＞24V）都通過(guò)了UL/MET/CSA認(rèn)證

· 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

關(guān)鍵詞：真空泵熱電偶壓力表隔膜泵質(zhì)量流量控制器

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