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一維/二維無串?dāng)_大負(fù)載壓電快速偏擺臺(tái)

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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

一維/二維無串?dāng)_大負(fù)載快速偏擺臺(tái)高速高精度大負(fù)載偏擺臺(tái)！上海昊量推出的法國Piezoconcept公司快速偏擺臺(tái)采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向，各方向單獨(dú)運(yùn)動(dòng)無串?dāng)_

詳細(xì)介紹

一維/二維無串?dāng)_大負(fù)載快速偏擺臺(tái)

高速高精度大負(fù)載偏擺臺(tái)！

上海昊量推出的法國Piezoconcept公司快速偏擺臺(tái)采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向，各方向單獨(dú)運(yùn)動(dòng)無串?dāng)_。使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，快速偏擺臺(tái)采用硅位移傳感器，相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，硅傳感器可以直接探測角度可以提供更高的精度，而且快速偏擺臺(tái)擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪，快速偏擺臺(tái)的精度可以達(dá)到5nrad，底噪低至1nrad。

昊量光電推出的快速偏擺臺(tái)是用于控制光束的理想工具。AU-TT系列快速偏擺臺(tái) (AU-TT1為單軸快速偏擺臺(tái)，AU-TT2為二維快速偏擺臺(tái)），每個(gè)軸可提供5mrad/10mrad的偏轉(zhuǎn)角。其中鏡面安裝面為1英寸，采用硅傳感器閉環(huán)控制，精度可達(dá)到5納弧度，底噪低至1納弧度。該款產(chǎn)品是一款高速偏擺臺(tái)，具有大扭矩，配合高速控制器使用時(shí)，掃描速度可達(dá)到500Hz，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)到2ms。由于高的結(jié)構(gòu)剛性和分離式的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)500g超大負(fù)載和超低的軸間串?dāng)_。

它是需要光束控制的應(yīng)用的理想工具。該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（可提供大功率控制器）。被廣泛的應(yīng)用于粒子跟蹤、、、掃描顯微鏡等領(lǐng)域。

應(yīng)用實(shí)例：

Fig.2. AU-TT2.5 on an optical tweezer experiment

Fig.3. AU-TT-2.5 during an unic experience where it was possible to measure yourself the speed of light

★ 產(chǎn)品特點(diǎn)

l 高分辨率（5nrad）

l 高速度，自振頻率可達(dá)4000Hz

l 采用硅傳感技術(shù)

l 超低底噪(1nrad)

l 柔性鉸鏈導(dǎo)向

l 大負(fù)載可達(dá)500g

★ 主要應(yīng)用

l 光束穩(wěn)定

l 粒子跟蹤

l 快速轉(zhuǎn)向

l 共焦顯微鏡

l 掃描顯微鏡

l 光鑷

★ 產(chǎn)品參數(shù)：

	Unit	AU-TT1.5/AU-TT1.10	AU-TT2.5/AU-TT2.10
Range of motion	(mrad)	5/10	5/10
Resolution	(µrad)	0.005/0.01	0.005/0.01
Typical noise floor	(µrad)	0.005/0.01	0.0005/0.001
Full range repeatability	(µrad)	0.01/0.02	0.01/0.02
Linearization (typical)		0.2%	0.2%
Resonant frequency	(Hz)	2000/1200	4000-2000/2200-1200
Stiffness	(N/µm)	N/A	N/A
Maximum load:
horizontal use	(kg)	0.5	0.2
vertical use	(kg)	0.2	0.2
Sensor		Silicon HR sensor	Silicon HR sensor
Material		Al	Al
Cable length	(m)	2	2
Controller		Standard or High Speed	Standard or High Speed