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滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2024-09-28 10:54:24瀏覽次數(shù)：78次

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長沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司

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產(chǎn)品簡介

型號(hào)：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL產(chǎn)品概述：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD管式爐系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

型號(hào)：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，80mm OD1600mm L的滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組，可用于生長納米或石墨烯材料。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱

滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL （2019.12.23—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻；

? 兩個(gè)加熱區(qū)，溫度梯度可達(dá) 200oC；

? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù)

? 溫度：1200oC（<30min），連續(xù)工作溫度：1100℃；

? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；

? 輸入功率：208-240V，單相，功率：2.5KW；

? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗；

? 爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。

設(shè)備主圖.jpg 圖片2.jpg

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	手動(dòng)匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片