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長沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司


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小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式:許進(jìn)朝查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2024-09-28 10:58:44瀏覽次數(shù):76次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:489條

所在地區(qū):湖南長沙市

聯(lián)系人:許進(jìn)朝 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

型號:OTF-1200X-50S-PE-SL產(chǎn)品概述:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

型號:OTF-1200X-50S-PE-SL

產(chǎn)品概述:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源,直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng),且設(shè)備性價(jià)比較為理想。

免責(zé)聲明: 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差,請勿復(fù)制或者截圖。如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù),請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,請勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同,公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請點(diǎn)擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對大陸地區(qū)客戶,購買前請與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-50S-PE-SL 

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

? 可通過爐體滑動達(dá)到快速升溫和降溫;

? 可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應(yīng)力;

? 可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量;

? 可沉積各種材料,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。

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加熱爐參數(shù)

? 溫度:1100℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃;

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

? 輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW;

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命(點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù))。

加熱爐圖片.jpg    溫控儀表.JPG

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動匹配

自動匹配

手動匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg

真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達(dá)10-2Torr。


圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出;

? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg


產(chǎn)品尺寸和重量

? 尺寸:1500mm L′600mm W′1200mm H

? 凈重:160 kg

? 運(yùn)輸重量:220 kg 

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


圖片1.png

承諾

? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)


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