產(chǎn)品簡(jiǎn)介：在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來(lái)越大，用于測(cè)試得探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低得簡(jiǎn)易式探針臺(tái)，在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)，探針座，四維調(diào)......

詳細(xì)介紹

在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來(lái)越大，用于測(cè)試得探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低得簡(jiǎn)易式探針臺(tái)，在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)，探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；

主要技術(shù)指標(biāo)：

★結(jié)構(gòu)緊湊，功能實(shí)用，價(jià)格實(shí)惠

★可用于12寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試

★兼容高倍率電子顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

★漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）

★精密絲杠/燕尾傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì)

★應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用

★1微米以上電極/PAD使用

★模塊化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊

技術(shù)參數(shù)選型：

規(guī)格/參數(shù)
型號(hào)		CPZH10-4	CPZH10-6		CPZH10-8		CPZH10-12
電力需求		220VC,50-60HZ
樣品臺(tái)	尺寸	4寸	6寸		8寸		12寸
	行程	XY行程50mm，Z軸升降60mm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊
	移動(dòng)精度	標(biāo)配10μm，可升級(jí)（5μm，3μm，1μm）
	背電極測(cè)試功能	可以引出電極	可以引出電極		可以引出電極		可以引出電極
	定制模塊	可定制位移行程和精度	可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度
探針調(diào)整座	XYZ行程	13mm-13mm-13mm
	機(jī)械精度	標(biāo)配10μm，可升級(jí)（5μm，3μm，1μm）
	漏電精度	10pA-100fA（配置屏蔽箱）
	安裝方式	直接磁力吸附/可調(diào)磁力吸附/真空吸附
	接口形式	香蕉插頭/鱷魚(yú)夾/同軸BNC/三同軸BNC
光學(xué)成像	放大倍數(shù)	7-200倍（可升級(jí)到720倍）
	CCD像素	500W（可升級(jí)200W）
	中心距離	140mm，升降范圍270mm，總高度350mm
	顯示器	8寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個(gè)屏幕（可升級(jí)大尺寸顯微鏡）
可選附件		加熱卡盤(pán)		高低溫卡盤(pán)		鍍金卡盤(pán)
		隔振支架		積分球測(cè)試選件		屏蔽箱
		射頻測(cè)試附件		導(dǎo)入光源支架		波長(zhǎng)單色可調(diào)光纖光源（測(cè)光電流）
		顯微鏡調(diào)節(jié)手動(dòng)/電動(dòng)調(diào)節(jié)裝置		激光切割顯微鏡		轉(zhuǎn)接頭配件