團(tuán)簇式PECVD
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該系列PECVD系統(tǒng)具有固態(tài)等離子源、分開式反應(yīng)氣體進(jìn)氣系統(tǒng)，動(dòng)態(tài)襯底溫控，全面控制真空系統(tǒng)，采用集中現(xiàn)場(chǎng)控制總線技術(shù)的“值守精靈”控制軟件，以及友好用戶操作界面來(lái)操作。適用于室溫至1400℃條件下進(jìn)行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)或氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無(wú)損傷鈍化膜的沉積。
清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；上開啟結(jié)構(gòu)，式樣觀察方便；觸屏人機(jī)對(duì)話整體性操作，安全可靠；;產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示；真空系統(tǒng)、工作壓強(qiáng)、電源系統(tǒng)及自動(dòng)匹配、工藝氣體流量、加熱系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、工藝過(guò)程、系統(tǒng)監(jiān)控及數(shù)據(jù)采集等。
公司名稱（現(xiàn)用名）：北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
公司名稱（曾用名）：北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司
覆蓋區(qū)域：北京、天津、河北
北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司，原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司，創(chuàng)立于2013年，位于中國(guó)·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，主體經(jīng)營(yíng)分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個(gè)部分，是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司，公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師，具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，與北京交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng)，滿足高校、研究所的教學(xué)、科研使用，同時(shí)減少相關(guān)進(jìn)口設(shè)備的*，并力爭(zhēng)創(chuàng)造外匯，打出中國(guó)創(chuàng)造的！
我們的客戶遍布北京各高校和研究院所、電力試驗(yàn)所、各級(jí)的材料、物理、化學(xué)、納米等研究領(lǐng)域*的實(shí)驗(yàn)室，期待您就是我們的下一位客戶、朋友！
您的滿意微笑是我們一直努力追求的經(jīng)營(yíng)目標(biāo)！
技術(shù)創(chuàng)新、業(yè)務(wù)專業(yè)、服務(wù)誠(chéng)信是我們一直遵循的經(jīng)營(yíng)理念！
我們熱誠(chéng)歡迎國(guó)內(nèi)外*的儀器制造商及科學(xué)工作者與我們聯(lián)系開展各層面的合作,打造成*的真空系統(tǒng)產(chǎn)品、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和原子層沉積系統(tǒng)供應(yīng)商。
ALD設(shè)備，PECVD設(shè)備
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該系列PECVD系統(tǒng)具有固態(tài)等離子源、分開式反應(yīng)氣體進(jìn)氣系統(tǒng)，動(dòng)態(tài)襯底溫控，全面控制真空系統(tǒng)，采用集中現(xiàn)場(chǎng)控制總線技術(shù)的“值守精靈”控制軟件，以及友好用戶操作界面來(lái)操作。適用于室溫至1400℃條件下進(jìn)行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉積
PECVD多功能 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞：數(shù)據(jù)采集
