潔凈室懸浮粒子潔凈度等級對照

時(shí)間：2011-8-7閱讀：700

表2. 潔凈室懸浮粒子潔凈度等級對照

FS 209E						ISO 14644-1
zui大允許粒子濃度限值（≥D）Pc/m³						粒子允許濃度限值（≥D）Pc/m³
粒徑um 級別	0.1	0.2	0.3	0.5	5.0	粒徑um級別	0.1	0.2	0.3	0.5	1.0	5.0
						ISO1	10	2
						ISO2	100	24	10	4
M1	350 （9.91）	75.7（2.14）	30.9（0.875）	10（0.283）
M1.5	1240（35）	265（7.5）	106（3）	35.3（1.0）		ISO3	1000	237	102	35	8
M2	3500（99.1）	757（21.4）	309（8.75）	100（2.83）
M2.5	12400（350）	2650（75）	1060（30）	353（10）		ISO4	10,000	2370	1020	352	83
M3	35,000（991）	7570（214）	3090（87.5）	1000（28.3）
M3.5（100）		26,500（750）	10600（300）	3530（100）		ISO5	100,000	23700	10,200	3520	832	29
M4		75,700（2140）	30900（875）	10,000（283）
M4.5（1000）				35300（1000）	247（7）	ISO6	1,000,000	23,7000	102,000	35,200	8320	293
M5				100,000（2830）	618（17.5）
M5.5（10000）				353,000（10,000）	2470（70）	ISO7				352,000	83,200	2930
M6				1,000,000（28,300）	6180（175）
M6.5（100000）				3,530,000（100,000）	24,700（700）	ISO8				3,520,000	832,000	29,300
M7				10,000,000（283,000）	61,800（1750）
						ISO9				35,200,000	8,320,000	293,000

注：1、凡（）內(nèi)數(shù)字為英制的粒子濃度Pc/ft³。

2、ISO 14644-1的表名按其標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為“選列的潔凈室懸浮粒子潔凈度等級”。

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