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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
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更新時(shí)間：2017-04-19 23:38:09瀏覽次數(shù)：770次
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探針臺(tái)
高低溫真空可以很好的滿足極低溫測(cè)試和高溫?zé)o氧化測(cè)設(shè)：
探針臺(tái)高低溫真空探針臺(tái)可以很好的滿足極低溫測(cè)試和高溫?zé)o氧化測(cè)設(shè)：*** 極低溫測(cè)試: 因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。要想避免這些就需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。*** 高溫?zé)o氧化測(cè)試：當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。特點(diǎn)： 1、晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，高低溫真空針座位于腔體外部，便于操作重新調(diào)整探針位置。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。針座行程 X-Y-Z ：25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)，精度10 micron（有效行程和精度可選）；2、工作臺(tái)溫度范圍：-150℃——400℃，顯示精度0.1℃，控溫精度2℃，工作臺(tái)溫度均勻 性5℃,常溫到-150℃冷卻時(shí)間:1小時(shí)40分鐘，常溫到400℃加熱時(shí)間：40分鐘；3、真空腔體極限真空到6.67*10-1Pa（配置機(jī)械泵）；4、可以選擇射頻配件做高67 GHz的射頻測(cè)試；5、選配：顯微鏡、防震桌、方形工作臺(tái)、分子泵組、射頻部件等。
歡迎來到北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司， 具體地址是北京市密云縣西田各莊鎮(zhèn)雁密路99號(hào)601室-819，老板是楊利佳。 是,手機(jī)是,主要經(jīng)營(yíng)北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司，原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司，創(chuàng)立于2013年，位于中國(guó)·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，主體經(jīng)營(yíng)分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個(gè)部分，是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司，公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師，具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。。 單位注冊(cè)資金單位注冊(cè)資金人民幣 ３00 萬元以下。 作為一家從事教育裝備多年的企業(yè)，主營(yíng)維意真空,ALD,原子層沉積鍍膜設(shè)備,PE-CVD,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè),源瓶等產(chǎn)品，不論是什么樣的客戶我們都會(huì)以真誠(chéng)的態(tài)度，優(yōu)惠的價(jià)格，可靠地品質(zhì)及熱忱的服務(wù)來面對(duì)您。而且大量的庫存以及合作的物流公司，確保您的貨物能準(zhǔn)確安全的到達(dá)您的手中。一切為成為您可靠的伙伴而努力！
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