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行業(yè)產(chǎn)品

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天津中環(huán)電爐股份有限公司


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1200℃滑動(dòng)式單、雙、三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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聯(lián)系方式：黃女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2021-11-02 15:53:46瀏覽次數(shù)：672次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：67條

所在地區(qū)：天津天津市

聯(lián)系人：黃女士 （網(wǎng)絡(luò)推廣）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品用途：此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)真空淬火退火，快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。

詳細(xì)介紹

   

 

產(chǎn)品用途：

此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控

生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)真空淬火退火，快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。

 

產(chǎn)品組成：

CVD系統(tǒng)配置：

1.1200度開(kāi)啟式真空管式爐（可選配多溫區(qū)）。

2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng)，并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）    

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過(guò)沖，性能可靠，操作簡(jiǎn)單。

2 氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司的知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì),提高操作便捷性。

3 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

4 (電動(dòng))滑動(dòng)系統(tǒng)采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng)，等程序完成，爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng)，因有滑動(dòng)限位功能爐體不會(huì)發(fā)生碰撞，待樣品露出爐體后，通過(guò)風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。

關(guān)鍵詞：溫度控制器
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