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ZYGO 激光干涉儀：Verifire™ MST

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多表面測(cè)量VerifireMST激光干涉儀提供了一個(gè)的嶄新的測(cè)量方式和能力，傳統(tǒng)的激光干涉儀應(yīng)用是測(cè)量?jī)蓚€(gè)面的波前變化，也就是說(shuō)測(cè)量一個(gè)由兩個(gè)面所形成的腔

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多表面測(cè)量

Verifire™ MST激光干涉儀提供了一個(gè)的嶄新的測(cè)量方式和能力，傳統(tǒng)的激光干涉儀應(yīng)用是測(cè)量?jī)蓚€(gè)面的波前變化，也就是說(shuō)測(cè)量一個(gè) 由兩個(gè)面所形成的腔。

但是，如果所測(cè)量的是一個(gè)沒(méi)有經(jīng)過(guò)鍍膜的平行平板，則就會(huì)產(chǎn)生兩個(gè)疊加的干涉條紋（三個(gè)面的腔所形成），這樣就會(huì)干擾標(biāo)準(zhǔn)的位相干涉測(cè)量分析。

現(xiàn)在，ZYGO的Verifire™ MST激光干涉儀解決了這一個(gè)問(wèn)題，通過(guò)波長(zhǎng)調(diào)制技術(shù)和ZYGO新的傅立葉變換方法，可以進(jìn)行三個(gè)甚至四個(gè)平行面的測(cè)量，不僅可以顯示所有的面，并且可以排除其他的面而單獨(dú)顯示你所需要的面。