ME-L 是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀，凝聚了頤光科研團隊在橢偏技術(shù)多年的研發(fā)投入，其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù)，包括消色差補償器、雙旋轉(zhuǎn)補償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等?？蓱?yīng)用于各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及...

詳細(xì)介紹

一、概述

ME-L 是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀，凝聚了頤光科研團隊在橢偏技術(shù)多年的投入，其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù)，具備 1 全穆勒矩陣測量技術(shù)， 2 雙旋轉(zhuǎn)補償器同步控制技術(shù)，3 超級消色差補償器設(shè)計技術(shù)，4 納米光柵表征測量技術(shù) 等技術(shù)。可應(yīng)用于各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及一維/二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表征分析，代表當(dāng)今橢偏行業(yè)高精尖技術(shù)水平。

■ 雙旋轉(zhuǎn)補償器(DRC)配置一次測量全部穆勒矩陣16個元素；

■ 配置自動變角器、五維樣件控制平臺等優(yōu)質(zhì)硬件模塊；

■ 軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計，易上手、操作便捷；

■ 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強大數(shù)據(jù)分析能力

二、產(chǎn)品特點

■ 采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)；

■ 可實現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理，測量信息量更大，測量速度快、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn)；

■ 基于雙旋轉(zhuǎn)補償器配置，可一次測量獲得全穆勒矩陣的16個元素，相對傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面測量信息；

■ 頤光核心技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜；

■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；

■ 集成對納米光柵的分析，可同時測量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息；

使用頤光科技橢偏儀系列產(chǎn)品，（部分）提及并標(biāo)注“Eoptics Technology"文獻(xiàn)信息： ? "Giant in-plane optical and electronic anisotropy in tellurene: a quantitative exploration." Nanoscale(2022).單位：華中科技數(shù)字裝備制造國家重點實驗室，通訊作者：谷洪剛，劉世元等 ? "Enhanced light emission of quantum dot films by scattering of poly(zinc methacrylate) coating CdZnSeS/ZnS quantum dots and high refractive index BaTiO3 nanoparticles." ACS Nano (2020).單位：南方科技大學(xué)，通訊作者：孫小衛(wèi) 等 ? "High performance flexible organic photomultiplication photodetector based on ultra-thin silver film transparent electrode." Nanotechnology (2020).單位：太原理工大學(xué)，通訊作者：崔艷霞等 ? "Layer-Dependent Dielectric Function of Wafer-Scale 2D MoS2." Advance Optical Materials (2018).單位：華中科技大學(xué)數(shù)，通訊作者：劉世元等 ? "Ellipsometric study of the complex optical constants of a CsPbBr3 perovskite thin film." Journal of Materials Chemistry C(2017).單位：山東大學(xué)，通訊作者：連潔等 ?"High-Performance Polymer Tandem Solar Cells Employing a New n-Type Conjugated Polymer as an Interconnecting Layer." Advance Materials(2016).單位：華南理工大學(xué)發(fā)光材料與器件國家重點實驗室，通訊作者：葉軒立，黃飛等

使用頤光科技橢偏儀系列產(chǎn)品，（部分）提及并標(biāo)注“Eoptics Technology"文獻(xiàn)信息：

? "Giant in-plane optical and electronic anisotropy in tellurene: a quantitative exploration." Nanoscale(2022).單位：華中科技數(shù)字裝備制造國家重點實驗室，通訊作者：谷洪剛，劉世元等

? "Enhanced light emission of quantum dot films by scattering of poly(zinc methacrylate) coating CdZnSeS/ZnS quantum dots and high refractive index BaTiO3 nanoparticles." ACS Nano (2020).單位：南方科技大學(xué)，通訊作者：孫小衛(wèi) 等

? "High performance flexible organic photomultiplication photodetector based on ultra-thin silver film transparent electrode." Nanotechnology (2020).單位：太原理工大學(xué)，通訊作者：崔艷霞等

? "Layer-Dependent Dielectric Function of Wafer-Scale 2D MoS2." Advance Optical Materials (2018).單位：華中科技大學(xué)數(shù)，通訊作者：劉世元等

? "Ellipsometric study of the complex optical constants of a CsPbBr3 perovskite thin film." Journal of Materials Chemistry C(2017).單位：山東大學(xué)，通訊作者：連潔等

?"High-Performance Polymer Tandem Solar Cells Employing a New n-Type Conjugated Polymer as an Interconnecting Layer." Advance Materials(2016).單位：華南理工大學(xué)發(fā)光材料與器件國家重點實驗室，通訊作者：葉軒立，黃飛等

應(yīng)用領(lǐng)域：
顯示面板｜新型顯示材料應(yīng)用解決方案	集成電路｜IC集成電路檢測解決方案	光伏行業(yè)｜光伏薄膜測量解決方案
玻璃蓋板｜玻璃蓋板薄膜一站式測量解決方案	LED行業(yè)｜LED芯片測量應(yīng)用解決方案	科學(xué)研究｜新型材料物性以及理論模型研究