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選擇HMDS烘箱的容積
內(nèi)腔尺寸:450*450*450mm,1-8寸片均適用,4寸晶圓可處理200P/次;
HMDS烘箱真空泵的選擇
根據(jù)腔體容積,選配合適型號(hào)的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。
◆ 低噪聲,低振動(dòng)
3.HMDS烘箱輔助功能選擇:
◆HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能
◆HMDS低液位報(bào)警提示功能
◆工藝數(shù)據(jù)記錄功能
◆藥液管道預(yù)熱功能
◆程序鎖定保護(hù)等功能
請(qǐng)輸入賬號(hào)
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請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
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